第168章 开始演示-第2/3页
这十位研究人员,都是十分有默契的没有主动提及光刻机的事情。
他们都想要看看,等下自家的这两位总工程师震惊的模样。
“江老,洛副工,成品在里面的一个设备间,我带你们过去看。”
顾修等洛静与江远山走下飞机后,开口说道。
之后,一堆人马,齐刷刷的朝着设备间的位置走去。
走进门口,映入眼帘的,就是在占地八百平米的设备间中,放置着五个形状各异的大型设备。
“这是,你们半个月造出来的?”江远山看到设备后,忍不住开口问道。
这些设备,他自然是认识的。
有四套设备,正是生产光刻机配件的必要设备。
这四个设备,目前连他们的项目都造不出。
很难想象,这顾修造这些,只是用了半个月。
“千真万确啊,江老,我们来的时候这里可是什么都没有的。”一位研究人员开口道:
“制造这些设备的零配件,还是洛副工安排给我们空运过来的呢。”
洛静看到这些设备后,同样的震惊。
不过,震惊的只是这顾修制造出这些仪器的速度而已。
究竟是不是合格的,优秀的设备,这得检查后才知道。
但洛静在看到自己团队里的这几位研究员一副看好戏的神情后,已经多少猜到了点什么。
顾修那天与她说的,大概是真的。
顾修是真的在半个月的时间里,造出来了一大套制造光刻机的完整设备。
“我现在给您依次演示一下这几台设备。”顾修说着,走到离着他最近的一台设备面前,在操纵面板上输入一系列的复杂指令。
这是一台生产光刻胶的设备。
随着顾修输入指令,设备的灯光开始闪烁,设备的引擎开始轰鸣。
五分钟的预热后,设备开始正式运行。
这期间,所有人的目光都死死的盯着设备工作,生怕自己错过任何一个重要的环节。
“这是一台生产ArF光刻胶的设备,它正常工作时候,生产光刻胶的速度,是世界上目前最先进的光刻胶生产设备的一倍。”顾修说,“之所以速度快,是因为我在它的散热器和能量传输区域做了一点小改动。”
“这个,在我给到您的那份设计方案中,有体现。”
顾修并没有等到这个光刻胶生产出来,而是又启动了第二个,第三个,第四个设备。
依次是KrF光刻胶,光刻胶,以及光刻气的生产设备。...
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