第五十章 成功-第2/3页

    “等第一台机器试验通过后，请你将自检模块的设计提供给我们，好吗？”

    “没问题！但需要一些时间。”韩阳点了点头，开始给伯灵院士演示自检模块的使用方法。

    “开始进行光源、工作台、镜头自检……”

    “自检中……”

    “光源自检完成，光源稳定输出功率300瓦，光波193纳米，设备正常。”

    “工作台运行正常，运行精度2纳米。”

    “镜头工作正常，透光率，清洁度，安装位置达到生产要求。”

    “自检完成，核心组件运行正常。”

    在韩阳运行自检程序的时候，所有人都紧张的盯着大屏幕看，看到自检系统提示，核心组件运行正常的时候，所有人都松了一口气。

    然后，所有人都看向了伯灵院士。

    “测试组，安装硅片！”

    “安装测试掩膜！”

    在测试组的紧张工作下，所有准备工作完成。

    伯灵院士又仔仔细细检查了一番机器的状态，最终对韩阳说，“韩阳，你来和我一起按下这个生产按钮！”

    “好！”韩阳没有推迟，他大步来到伯灵院士身边，然后和紧张得浑身冒汗的伯灵院士，一起按下了红色的启动按钮。

    顿时，一块硅片被传送装置送到中间的工件台上。

    工件台将硅片位置固定后，工件台快速而又精准的移动到镜头的下方。

    蓝紫色的光芒从镜头中照射而出，照射到硅片上。

    每一次蓝紫色的光芒闪过，工件台就以极快的速度移动，速度极快，如同幻影一般。

    很快，第一批加工好的硅片从机器的左边被传送出来，然后被机械手臂传送到下一台机器中进行显影，清洗，烘干等操作。

    最终，经过一系列处理的硅片，被送到纳米级光学显微镜下观察。

    显微镜观察到的画面，同步投影到大屏幕上。

    科学院的几个专家全神贯注的看向大屏幕，足足看了十多分钟，科学院光电所的吴起院士声音中带着喜悦开口。

    “光刻位置定位准确！”

    “图形套刻准确，边缘整齐！界线清晰！”

    “芯片图案清晰，无光晕，无皱褶，无重叠现象！”

    “从光刻的角度来看，这块硅片的光刻完成得非常优秀。”

    “A**L的光刻机制造的硅片，也只是这个水平。”

    “当然，最终的结果要等这些硅片切割制作成为CPU后，测试cpu中的电路情况来定。”

    “但我初步判断，这台DUV浸润式光刻机已经成功了！”

    随着吴起院士的这句话，全场爆发出无比激动的掌声，所有人都在鼓掌，在欢呼。

    “我们终于做到了！”

    “我们再也不用仰仗别人的鼻息！”

    “等我们的DUV浸润式光刻机量产，就是我们反攻的时候，不卖给我们，我们要让他们的光刻机烂在仓库中。”

    “芯片问题，最关键的生产问题，终于被我们解决了。”所有人都很激动。

    种花国在芯片产业上最大的问题，就是生产问题，只要解决了这个问题，就能迎来巨大的腾飞和发展。

    李侍郎接过话筒，他的声音中也带着无法抑制的激动，“祝贺你，伯灵院士！祝贺你们，海上微电公司！你们开创了一个新的时代。”...
    本章未完，请点击下一页继续阅读！